[发明专利]显示重掺P型直拉硅单晶空洞型缺陷的腐蚀液及其应用有效
| 申请号： | 201110366137.5 | 申请日： | 2011-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN102425011A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 马向阳;徐涛;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/24 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显示重掺P型直拉硅单晶空洞型缺陷的腐蚀液及其应用。该腐蚀液由摩尔浓度为0.25～0.35mol/L的三氧化铬溶液和质量浓度为40％～49％的氢氟酸按体积比1∶2～1∶1混合制成。该腐蚀液适用范围广，可以用于掺杂浓度为2.8×1018～4.5×1019cm-3的<100>晶向重掺P型直拉硅单晶中空洞型缺陷的择优腐蚀，尤其适用于重掺杂、低阻P型直拉硅单晶空洞型缺陷的显示；具有腐蚀速度快，腐蚀效果好，图像形貌规则、清晰易辨，操作简单方便等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 型直拉硅单晶 空洞 缺陷 腐蚀 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种显示重掺P型直拉硅单晶空洞型缺陷的腐蚀液，其特征在于，由摩尔浓度为0.25～0.35mol/L的三氧化铬溶液和质量浓度为40％～49％的氢氟酸按体积比1∶2～1∶1混合制成。
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