[发明专利]一种制造平板显示装置的设备和方法有效
| 申请号： | 201110365333.0 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102569127A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 金容一;方政镐;洪基相 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;钟强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本文论述了一种用于制造平板显示装置的设备及方法。根据实施例，该设备包括：涂覆生产线，用于在基板上形成透明导电金属层；黑化生产线，用于黑化所述透明导电金属层；曝光生产线，用于曝光黑化金属层；显影生产线，用于接收具有黑化金属层的曝光基板，并对接收的基板进行显影处理，以在所述基板上形成黑化金属图案；以及退火生产线，用于对所述基板上的所述黑化金属图案进行退火处理，以将黑化金属图案恢复为透明金属图案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 平板 显示装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造显示装置的层的设备，包括：涂覆生产线，用于在基板上形成透明导电金属层；黑化生产线，用于黑化所述透明导电金属层；曝光生产线，用于曝光黑化金属层；显影生产线，用于接收具有黑化金属层的曝光基板，并对接收的基板进行显影处理，以在所述基板上形成黑化金属图案；和退火生产线，用于对所述基板上的所述黑化金属图案进行退火处理，以将黑化金属图案恢复为透明金属图案。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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