[发明专利]一种缩小存储节点的非易失性存储装置及其制造方法无效
| 申请号： | 201110334664.8 | 申请日： | 2011-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN103094471A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 刘紫玉;赵宏武;张培健;孟洋;孟庆宇;毛奇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种非易失性电阻存储器件，包括顶电极、底电极以及位于顶电极和底电极之间的阻变氧化物层，其特征在于底电极与阻变氧化物层连接的一端呈锥形，且锥形端部嵌入到阻变氧化物层中。本发明还提供一种非易失性电阻存储器件的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缩小 存储 节点 非易失性 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种非易失性电阻存储器件，包括顶电极(13)、底电极(11)以及位于顶电极和底电极之间的阻变氧化物层(12)，其特征在于底电极与阻变氧化物层连接的一端的端部伸入到阻变氧化物层中，且该端的端部呈在伸入方向上横截面积逐渐缩小的形状。
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