[发明专利]三氯氢硅提纯及控制系统在审
| 申请号： | 201110331649.8 | 申请日： | 2011-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN102616788A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 姜海明;董海成;刘淑萍;曹忠 | 申请（专利权）人： | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 010070 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三氯氢硅提纯及控制系统，包括原料缓冲罐、精馏装置、湿氮气配置装置和储罐；三氯氢硅原料由原料缓冲罐进入精馏装置中进行提纯，同时湿氮气配置装置将配置好的湿氮气通入精馏装置配合进行提纯，提纯得到的精三氯氢硅进入储罐进行存储。还包括控制系统，采用可编程逻辑控制器PLC对整个系统内各参数进行集中显示和控制，在控制界面显示装置内的各温度、压力、流量、液位及回流比参数，对需要控制的点进行闭环自动调节，维持系统的稳定运行。与现有技术相比，本发明使用湿氮法配合精馏对三氯氢硅进行提纯，能够获得制备9N~12N多晶硅的高纯度三氯氢硅，为多晶硅的生产提供高质量的原料；同时系统功能完善，能够稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 提纯 控制系统 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅提纯及控制系统，其特征在于：所述三氯氢硅提纯及控制系统包括原料缓冲罐、精馏装置、湿氮气配置装置和储罐；三氯氢硅原料由所述原料缓冲罐进入精馏装置中进行提纯，同时所述湿氮气配置装置将配置好的湿氮气通入所述精馏装置配合进行提纯，提纯得到的精三氯氢硅进入所述储罐进行存储。
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