[发明专利]一种用于晶圆制造的传送手臂无效
| 申请号： | 201110297456.5 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN103035553A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 刘若鹏;赵治亚;法布里奇亚·盖佐;李国振 | 申请（专利权）人： | 深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于晶圆制造的传送手臂，包括一呈Y形的机械手臂和设置在机械手臂上的至少两个吸嘴，每个所述吸嘴通过真空通道分别与一独立的真空系统连通。其有益效果是，通过将传送手臂上的吸嘴分别连通独立的真空系统，使传送手臂在吸取翘曲较大的晶圆时，不容易出现真空丢失，解决了晶圆因吸附不牢固而丢失的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制造 传送 手臂 | ||
【主权项】：
一种用于晶圆制造的传送手臂，包括一呈Y形的机械手臂和设置在机械手臂上的至少两个吸嘴，其特征在于：每个所述吸嘴通过真空通道分别与一独立的真空系统连通。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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