[发明专利]可补偿电容偏移的微机电电路及其方法

摘要

本发明公开了一种可补偿电容偏移的微机电电路及其方法。该微机电电路包含微机电差动电容、读取电路、控制电路及补偿电路。该微机电差动电容包含第一电容与第二电容；该读取电路是耦接于该微机电差动电容，用以读取该第一电容与该第二电容之间在零G情况时的差值，并根据该差值，产生输出信号；该控制电路是耦接于该读取电路，用以接收该输出信号，并产生控制信号；该补偿电路是耦接于该控制电路，用以根据该控制信号，补偿该微机电差动电容。由于本发明可利用该补偿电路补偿该微机电差动电容与该读取电路的制程变异所造成的电容变异，所以本发明可改善该读取电路因为该电容变异所造成的零G偏移，而产生错误的输出信号。

主权项

一种可补偿电容偏移的微机电电路，包含：微机电差动电容，包含第一电容与第二电容；读取电路，耦接于该微机电差动电容，用以读取该第一电容与该第二电容之间在零G情况时的差值，并根据该差值，产生输出信号；该微机电电路的特征在于还包括：控制电路，耦接于该读取电路，用以接收该输出信号，并产生控制信号；及补偿电路，耦接于该控制电路，用以根据该控制信号，补偿该微机电差动电容。