[发明专利]树脂密封成形品的制造方法和树脂密封成形品的制造装置在审
申请号: | 201110253028.2 | 申请日: | 2011-08-29 |
公开(公告)号: | CN102386110A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 多根幸伴;三好顺之 | 申请(专利权)人: | 东和株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;B29C33/38 |
代理公司: | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人: | 杨勇;郑建晖 |
地址: | 日本京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种对玻璃环氧基板(11)的外面部进行树脂密封成形并将该基板的一部分露出于树脂成形体外部的基板的树脂密封成形方法及其装置。解决课题的方法如下:使用热硬化性环氧树脂(R)并采用树脂密封成形装置对玻璃环氧基板(11)的外面部进行树脂密封成形,而且在使基板的一部分露出在树脂密封成形体外部的模构造(21、22)的部位,使树脂毛边形成防止用部件(23)与该基板的露出面(13)接触密接,所述树脂密封成形装置具备用于进行密封成形的模构造(21、22)。另外,在树脂毛边形成防止用部件23的顶端部设置树脂涂层(23a)。 | ||
搜索关键词: | 树脂 密封 成形 制造 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种树脂密封成形品的制造方法,其对安装了电子元件的基板进行树脂密封并制造树脂密封成形品,其特征在于,所述制造方法包括:搬入工序,将安装了所述电子元件的基板搬入树脂密封成形用的第一成型模和第二成型模之间,基板配置工序,将已搬入于所述两成型模间的所述基板配置于模穴内的规定指定位置,所述模穴设置在所述两成型模中至少一个成型模的面向另一个成型模的一侧上,基板设置工序,对所述两成型模进行合模并将所述基板设置在所述模穴内的指定位置,树脂密封工序,在将所述基板浸渍于所述模穴内存在的流动性或可塑性树脂中的状态下,将所述树脂硬化或固化从而对所述基板进行树脂密封,开模工序,对所述两成型模进行开模,取出工序,将进行过所述树脂密封的基板与所述树脂一起取出,在所述设置工序和所述树脂密封工序中,通过使树脂毛边形成防止用部件与所述基板的基板露出面密接并覆盖所述基板露出面,对所述基板的所述基板露出面以外的指定的外面部进行树脂密封从而制造出所述基板露出面露出的所述树脂密封成形品。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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