[发明专利]表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备

摘要

本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备，能够实现良好的频率温度特性。用于解决上述课题的SAW谐振器(10)具有：IDT(12)，其利用欧拉角为(-1°≤φ≤1°、117°≤θ≤142°、42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30)，并激励出阻带上端模式的SAW；和槽(32)，其是使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的，SAW谐振器(10)的特征在于，在设SAW的波长为λ、设槽(13)的深度为G的情况下，满足下式的关系：0.01λ≤G，并且在设IDT(12)的线占用率为η的情况下，槽(32)的深度G与所述线占用率η满足下式的关系：并且，所述IDT中的电极指的对数N处于下式所示的范围内：160≤N≤220。

主权项

一种表面声波谐振器，其具有IDT和电极指间槽，该IDT设于欧拉角为‑1.5°≤φ≤1.5°、117°≤θ≤142°、41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板上，由Al或者以Al为主体的合金构成，激励出阻带上端模式的表面声波，该电极指间槽是使位于构成所述IDT的电极指之间的基板凹陷而形成的，所述表面声波谐振器的特征在于，在设所述表面声波的波长为λ、设所述电极指间槽的深度为G的情况下，满足下式：0.01λ≤G并且，在设所述IDT的线占用率为η的情况下，所述电极指间槽的深度G与所述线占用率η满足下式的关系： - 2.5 × G λ + 0.675 ≤ η ≤ - 2.5 × G λ + 0.775 并且，所述IDT中的电极指的对数N处于下式所示的范围内：160≤N≤220。