[发明专利]磁控管、溅射腔室装置和溅射设备有效
| 申请号： | 201110233023.3 | 申请日： | 2011-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN102938358A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 边国栋 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J23/087 | 分类号： | H01J23/087;H01J25/50;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 贾玉姣 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种磁控管，包括：具有第一磁极性的外磁极；设在外磁极的内部的内磁极，所述内磁极具有与第一磁极性相反的第二磁极性，内磁极与外磁极之间的间隙限定出一条连续闭合的轨道，内磁极包括第一和第二内磁极段，第一和第二内磁极段均为渐开线形状，第一和第二内磁极段绕同一基圆沿相反方向展开且第一和第二内磁极的内端相连，其中外磁极和内磁极中的每一个均相对于基圆的圆心中心对称。根据本发明实施例的磁控管，使得安装磁控管后的靶材无需配重，机械转动稳定。本发明还提供了一种具有上述磁控管的溅射腔室装置和溅射设备。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控管 溅射 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种磁控管，其特征在于，包括：外磁极，所述外磁极具有第一磁极性；内磁极，所述内磁极具有与所述第一磁极性相反的第二磁极性，所述内磁极设在所述外磁极的内部，所述内磁极与所述外磁极之间的间隙限定出一条连续闭合的轨道，所述内磁极包括第一和第二内磁极段，所述第一和第二内磁极段均为渐开线形状，所述第一和第二内磁极段绕同一基圆沿相反方向展开且所述第一和第二内磁极的内端相连，其中所述外磁极和所述内磁极中的每一个均相对于所述基圆的圆心中心对称。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110233023.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：液力耦合器
- 下一篇：一种拼接类全景图的一致性调整方法及系统
