[发明专利]主动补偿式液静压轴承及使用其的液静压轴承模块

摘要

一种主动补偿式液静压轴承设置于一第一结构与一第二结构之间，以允许第一结构与第二结构的相对运动。液静压轴承包含一本体及一补偿元件。本体固定至第一结构，并与第二结构隔开一第一间隙，且具有一空腔及与空腔连通的一输入通道及一输出通道。补偿元件设置于空腔中，本体与补偿元件之间具有一补偿通道，补偿通道连通输入通道及输出通道。一加压流体从输入通道通过补偿通道流至输出通道，使输出通道的加压流体流至第一间隙中，维持第一结构与第二结构的相对运动的稳定度及刚性。一种使用上述液静压轴承的液静压轴承模块也一并提供。本发明的主动补偿式液静压轴承及使用其的液静压轴承模块，在静态、动态下均具有高刚性，且适合动态负载变化。

主权项

一种主动补偿式液静压轴承，其特征在于，设置于一第一结构与一第二结构之间，以允许所述第一结构与所述第二结构的相对运动，所述主动补偿式液静压轴承包含：一本体，固定至所述第一结构，并与所述第二结构隔开一第一间隙，且具有一空腔及与所述空腔连通的一输入通道及一输出通道；以及一补偿元件，设置于所述空腔中，所述本体与所述补偿元件之间具有一补偿通道，所述补偿通道连通所述输入通道及所述输出通道，其中一加压流体从所述输入通道通过所述补偿通道流至所述输出通道，使所述输出通道的所述加压流体流至所述第一间隙中，维持所述第一结构与所述第二结构的相对运动的稳定度及刚性。