[发明专利]用于多晶硅生产的供料系统和方法有效
| 申请号： | 201110229802.6 | 申请日： | 2011-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN102923709A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 齐林喜;陈琳;刘占卿 | 申请（专利权）人： | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 代易宁;谭祐祥 |
| 地址： | 015543 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于多晶硅生产还原炉的供料系统和方法，包括：氢气加热器，用于加热氢气；三氯氢硅汽化器，用于将三氯氢硅液体汽化为三氯氢硅气体；至少第一和第二混合装置，每个混合装置都与氢气加热器和三氯氢硅汽化器相连接并分别接收加热的氢气和三氯氢硅气体，其中第一混合装置按照第一预定配比将接收的氢气和三氯氢硅气体混合为第一进料混合气，且第二混合装置按照第二预定配比将接收的氢气和三氯氢硅气体混合为第二进料混合气；至少第一和第二还原炉，分别与至少第一和第二混合装置流体连通地连接，以便第一混合装置将第一进料混合气提供到第一还原炉，并且第二混合装置将第二进料混合气提供到第二还原炉。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多晶 生产 供料 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅生产还原炉的供料系统，包括：氢气加热器，其与氢气供给源连接，用于接收来自氢气供给源的氢气并加热氢气；三氯氢硅汽化器，其与三氯氢硅液体供给源相连，用于将来自三氯氢硅液体供给源的三氯氢硅液体汽化为三氯氢硅气体；至少第一和第二混合装置，每个混合装置都与氢气加热器和三氯氢硅汽化器流体连通地连接并分别从氢气加热器接收加热的氢气和从汽化器接收三氯氢硅气体，其中第一混合装置按照第一预定配比将接收的氢气和三氯氢硅气体混合为第一进料混合气，且第二混合装置按照第二预定配比将接收的氢气和三氯氢硅气体混合为第二进料混合气；至少第一和第二还原炉，分别与至少第一和第二混合装置流体连通地连接，以便第一混合装置将第一进料混合气提供到第一还原炉，并且第二混合装置将第二进料混合气提供到第二还原炉。
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