[发明专利]一种新型的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪

摘要

一种新型的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪，包括射频电极、金属接地电极、射频电源以及水冷管路。其特征在于：喷枪上端接进气口，下端为喷口，四周用金属壳体密封，喷枪金属壳体壁面内置金属水冷管路，射频电极被介质阻挡层包覆，接地电极接地，常压下，射频电极与接地电极的间隙之间发生放电，产生等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下从喷口喷射出来，与被清洗物体表面有机物发生反应。在喷枪放电过程中，产生大量的热，聚集在喷枪腔内，表现为喷枪金属壳体温度较高，可达80-110℃，喷枪温度较高则会影响放电稳定性，同时缩短喷枪使用寿命，采用水冷降低金属壳体温度，既可有效降低喷枪壁面和腔内温度，又可使喷枪放电稳定，保证了喷枪处理效果。

主权项

一种新型的水冷常压等离子体自由基清洗喷枪，包括射频电极、金属接地电极、射频电源以及水冷管路。其特征在于：喷枪上端接进气口，下端为喷口，四周用金属壳体密封，喷枪金属壳体壁面内置金属水冷管路，射频电极被介质阻挡层包覆，接地电极接地，常压下，射频电极与接地电极的间隙之间发生放电，产生等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下从喷口喷射出来，与被清洗物体表面有机物发生反应。在喷枪放电过程中，产生大量的热，聚集在喷枪腔内，表现为喷枪金属壳体温度较高，可达80‑110℃，喷枪温度较高则会影响放电稳定性，同时缩短喷枪使用寿命，采用水冷降低金属壳体温度，即可有效降低喷枪壁面和腔内温度，又可使喷枪放电稳定，保证了喷枪处理效果。