[发明专利]工件台有效
| 申请号： | 201110191799.3 | 申请日： | 2011-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN102866587A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 陈军;袁志扬;秦磊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种工件台，包括第一承片台、第一X向线缆、第一Y向线缆、第一Y向滑台、第二Y向滑台和第一线缆交换装置。第一X向线缆的一端固定在工件台上。第一Y向线缆的一端固定在第一承片台上。第一Y向滑台选择性地连接于第一承片台，以带动第一承片台沿Y向移动。第二Y向滑台选择性地连接于第一承片台，以带动第一承片台沿Y向移动。第一线缆交换装置连接第一X向线缆和第一Y向线缆的另一端，选择性地跟随第一Y向滑台或第二Y向滑台沿Y向运动。本发明提出的工件台可极大地减小电缆、管路等配套设施工作过程中产生的扰动对工件台运动定位精度的影响，缩短双台交换的时间，提高光刻生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 | ||
【主权项】：
一种工件台，其特征是，包括：第一承片台；第一X向线缆，一端固定在所述第一承片台上；第一Y向线缆，一端固定在所述工件台上；第一Y向滑台，选择性地连接于所述第一承片台，以带动所述第一承片台沿Y向移动；第二Y向滑台，选择性地连接于所述第一承片台，以带动所述第一承片台沿Y向移动；以及第一线缆交换装置，连接所述第一X向线缆和所述第一Y向线缆的另一端，选择性地跟随所述第一Y向滑台或所述第二Y向滑台沿Y向运动。
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