[发明专利]适用于真空激光准直监测系统的波带板位移进给测量装置

摘要

本发明公开了一种适用于真空激光准直监测系统的波带板位移进给测量装置，包括：由滚珠丝杆副和直线导轨副组成的水平位移机构、波带板、翻转装置、游标、刻度尺、刻度滚轮、联轴器、、测点箱、密封法兰、焊接法兰、驱动轴、摇柄、保护罩、密封结构等，其中摇柄能够从测点箱外部通过驱动轴与测点箱内部水平位移机构相连接，水平位移机构能够使波带板水平移动，本发明的有益之处在于：可从测点箱外部准确地给定测点箱内波带板直线位移，避免了在真空激光准直监测系统测量准确性检验的过程中测点箱反复打开与密闭、测量管道内真空与大气状态的反复切换等繁杂操作，它操作简便，给定位移精确，使真空激光准直监测系统测量准确性的检验更为便捷与可靠。

主权项

适用于真空激光准直监测系统的波带板位移进给测量装置，包括：密封的测点箱、设置上述测点箱内部的用于监测的波带板、用于翻转上述波带板的翻转装置，其特征在于，还包括：固定在上述测点箱内底部的基座、固定在上述基座上方的水平位移机构、移动台、联轴器、驱动轴、摇柄、保护罩；上述测点箱箱壁上设有焊接法兰，上述焊接法兰的位于上述测点箱的内侧固定连接有嵌入其中心通孔的密封法兰、外侧设有可拆卸的保护罩；上述波带板和翻转装置固定连接在上述移动台的上侧；上述水平位移机构包括：滚珠丝杆副、与上述基座固定连接的并设置在上述滚珠丝杆副两端的支架、使上述移动台和基座构成滑动连接的直线滑轨副，上述移动台与上述滚珠丝杆副的丝杆螺母固定连接，上述滚珠丝杠副的滚珠丝杠与上述支架转动连接；上述滚珠丝杠副的丝杆螺母的移动方向与上述直线滑轨副的滑动方向相互平行；上述联轴器设置在上述测点箱的内部，其一端与上述滚珠丝杆副的滚珠丝杆相连接，另一端与上述驱动轴相连接；上述驱动轴穿过上述密封法兰的中心通孔、两端分别与上述联轴器和摇柄相连接，上述摇柄设置在上述焊接法兰的外侧、保护罩的内部；上述密封法兰的中心通孔中设有：套装在上述驱动轴上构成密封的密封结构；上述基座上方设有位置固定的刻度尺，上述移动台固定连接有指向上述刻度尺的游标；上述滚珠丝杆副的滚珠丝杆远离上述联轴器的一端设有刻度滚轮；上述测点箱设有用于观察上述游标、刻度尺、刻度滚轮的观察窗。