[发明专利]一种激光自聚焦穿丝玻璃切割方法

摘要

一种激光自聚焦穿丝玻璃切割方法，将激光光束聚焦到玻璃的内部，促使玻璃内部折射率发生变化，再利用激光波阵面发生的畸变产生激光自聚焦，利用激光自聚焦形成的焦点附近的激光能量在玻璃内部产生多光子吸收电离击穿损伤，形成长条细丝损伤裂痕，将激光光束沿切割路径移动，将长条细丝损伤裂痕扩展为细带状破坏裂痕，再改变激光自聚焦形成的焦点在玻璃内部的高度，沿切割路径重复移动激光光束，使细带状破坏裂痕贯穿整个玻璃基板，最后利用热应力、机械外力或者化学法在玻璃表面形成应力，使玻璃沿细带状破坏裂痕分断。切割精度高，速度快，成本低，切口质量高，无需后续抛磨处理，而且不会形成锋利边缘，可以切割任意厚度和形状的玻璃。

主权项

一种激光自聚焦穿丝玻璃切割方法，包括一个将激光光束聚焦后作用在玻璃上的步骤和一个利用热应力、机械外力或者化学法将所述的玻璃分断的步骤，其特征在于：在所述的将激光光束聚焦后作用在玻璃上的步骤中，将激光光束聚焦到所述的玻璃的内部，促使玻璃内部折射率发生变化，再利用激光波阵面发生的畸变产生激光自聚焦，利用激光自聚焦形成的焦点附近的激光能量在玻璃内部产生多光子吸收电离击穿损伤，形成长条细丝损伤裂痕，将激光光束沿切割路径移动，将所述的长条细丝损伤裂痕扩展为细带状破坏裂痕，改变激光自聚焦形成的焦点在玻璃内部的高度，然后沿着切割路径重复移动激光光束，使所述的细带状破坏裂痕贯穿整个玻璃基板，在所述的利用热应力、机械外力或者化学法将玻璃分断的步骤中，利用热应力、机械外力或者化学法在玻璃表面形成应力，使玻璃沿细带状破坏裂痕分断。