[发明专利]一种监控离子注入机异常的方法和装置有效
| 申请号： | 201110057520.2 | 申请日： | 2011-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN102683164A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 林伟旺;胡德明;陈春河;黄秉诚 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种监控离子注入机异常的方法和装置，以提高产品的质量和降低产品的报废率。装置包括：输入隔离单元，用于接收离子注入机的剂量控制器发送的异常报警信号和传片控制器发送的注入运行信号并输出；中央处理单元，用于在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；语音报警单元，用于根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。采用本发明技术方案，实现在离子注入机在注入过程中的真空度超出预设的真空度范围时进行报警，以确保缩短真空度较高或较低的状态持续时间，从而提高产品的质量和降低产品的报废率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监控 离子 注入 异常 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种监控离子注入机异常的装置，其特征在于，包括：输入隔离单元，与离子注入机的剂量控制器和传片控制器相连接，用于接收所述剂量控制器发送的异常报警信号和所述传片控制器发送的注入运行信号，并输出所述异常报警信号和所述注入运行信号；中央处理单元，与所述输入隔离单元相连接，用于在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；语音报警单元，与所述中央处理单元相连接，用于根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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