[发明专利]电子显微镜的样品室无效
申请号: | 201110032114.0 | 申请日: | 2011-01-28 |
公开(公告)号: | CN102142347A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 董全林;姚骏恩;张春熹;于成交;杨彦杰;袁水平;孟凡念;孙茂多 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人: | 郑立明;田治 |
地址: | 100083*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种电子显微镜的样品室,属于电子显微镜技术领域。该样品室包括:外壳、上托板、下托板、第一堵头、第二堵头、真空法兰和波纹管;所述外壳为中空筒体,筒体内设有一环形凸台,筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔,两个附件安装孔和抽真空孔均与外壳的筒体内连通;上托板扣装在外壳的一端开口上,固定在外壳的筒体内的所述环形凸台上;下托板固定扣装在上托板上;所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上,堵住两个附件安装孔,起密封作用;所述波纹管通过所述真空法兰设置在所述外壳的筒壁上的抽真空孔上。该样品室具有结构简单、体积小,部件少,装配及维护方便等优点。 | ||
搜索关键词: | 电子显微镜 样品 | ||
【主权项】:
一种电子显微镜的样品室,其特征在于,包括:外壳、上托板、下托板、第一堵头、第二堵头、真空法兰和波纹管;所述外壳为中空筒体,筒体内设有一环形凸台,筒壁上设有两个附件安装孔和抽真空孔,两个附件安装孔和抽真空孔均与外壳的筒体内连通;上托板扣装在外壳的一端开口上,固定在外壳的筒体内的所述环形凸台上;下托板固定扣装在上托板上;所述第一堵头、第二堵头分别设置在两个附件安装孔上,堵住两个附件安装孔;所述波纹管通过所述真空法兰设置在所述外壳的筒壁上的抽真空孔上。
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