[发明专利]位置微调装置及应用其的物镜有效
申请号: | 201110008295.3 | 申请日: | 2011-01-14 |
公开(公告)号: | CN102590974A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 雷军;谢志成;夏洪发;黄玲 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提出一种位置微调装置,用于微调物镜的镜片位置。物镜包括镜筒、镜座和镜片,镜座承载镜片可移动地设置在镜筒上。位置微调装置设置在镜筒和镜座之间,包括底座、侧板、顶块、楔块和螺杆。底座固定在镜筒上。侧板与底座固定连接。顶块可沿Z向移动地设置于底座,顶块支撑镜座。楔块可滑动地设置于底座和顶块之间。螺杆螺纹连接于侧板,固定于楔块。其中顶块与底座之间的距离沿X向逐渐变化,当沿Rx向转动螺杆时,螺杆带动楔块沿X向移动,楔块推动顶块沿Z向移动。本发明提出的位置微调装置,通过将楔块的X向移动转变为顶块的Z向移动,而对镜座进行微调,调整精度大,稳定性好。应用该位置微调装置的物镜也一并揭露。 | ||
搜索关键词: | 位置 微调 装置 应用 物镜 | ||
【主权项】:
一种位置微调装置,用于微调物镜的镜片位置,所述物镜包括镜筒、镜座和所述镜片,所述镜座承载所述镜片可移动地设置在所述镜筒上,其特征是,所述位置微调装置设置在所述镜筒和所述镜座之间,所述位置微调装置包括:底座,将所述位置微调装置固定在所述镜筒上;侧板,与所述底座固定连接;顶块,可沿Z向移动地设置于所述底座,所述顶块支撑所述镜座;楔块,可滑动地设置于所述底座和所述顶块之间;以及螺杆,一端螺纹连接于所述侧板,另一端固定连接于所述楔块,其中所述顶块与所述底座之间的距离沿X向逐渐变化,当沿Rx向转动所述螺杆时,所述螺杆带动所述楔块沿X向移动,所述楔块推动所述顶块沿Z向移动。
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