[实用新型]一种制膜装置无效
| 申请号： | 201020628693.6 | 申请日： | 2010-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN201890923U | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 黄瑞安 | 申请（专利权）人： | 黄瑞安 |
| 主分类号： | C23C14/38 | 分类号： | C23C14/38 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 廖平 |
| 地址： | 515735 广东省潮州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空制膜装置，包括真空室、与真空室底部相连的抽气组件、安装在真空室内的加热器，所述加热器连接一置于真空室外的控制电源，还包括一对阳极电弧和阴极电弧，连接阳极电弧和阴极电弧的控制电源，以及电弧触发电极和控制电弧触发电极的控制电源，所述阴极电弧置于一冷却底座上。本实用新型适用于制备金属膜、非金属膜、单层膜或多层膜，制膜速度快、质量好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
一种制膜装置，包括真空室、与真空室底部相连的抽气组件、安装在真空室内的加热器，所述加热器连接一置于真空室外的控制电源，其特征在于：还包括一对阳极电弧和阴极电弧，连接阳极电弧和阴极电弧的控制电源，以及电弧触发电极和控制电弧触发电极的控制电源，所述阴极电弧置于一冷却底座上。
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