[实用新型]一种提纯三氯氢硅的精馏设备

摘要

一种提纯三氯氢硅的精馏设备，属于三氯氢硅精馏提纯技术领域。该精馏设备包括预塔、三氯氢硅精馏塔和四氯化硅精馏塔，预塔、三氯氢硅精馏塔和四氯化硅精馏塔均为导向筛板塔，且在塔顶分别设有两级冷凝器。具有产能大、效率高、压降低、结构简单、造价低廉、抗堵能力强等优点。

主权项

一种提纯三氯氢硅的精馏设备，其特征在于：包括预塔（3）、三氯氢硅精馏塔（10）和四氯化硅精馏塔（17），预塔进料泵（1）与预塔进料口连接，预塔（3）塔顶设有预塔一级冷凝器（4）和预塔二级冷凝器（5），预塔一级冷凝器（4）冷凝液出口与预塔回流罐（6）进料口连接，预塔回流罐（6）出料口与预塔（3）回流口连接，预塔二级冷凝器（5）冷凝液出口与二氯二氢硅成品罐（22）连接；预塔二级冷凝器（5）的出气口通过管道与机前缓冲罐（25）相连接；预塔塔底出料口依次连接三氯氢硅进料槽（7）、三氯氢硅进料泵（8）；三氯氢硅进料泵（8）与三氯氢硅精馏塔（10）进料口连接，三氯氢硅精馏塔（10）顶部设有三氯氢硅精馏塔一级冷凝器（11）和三氯氢硅精馏塔二级冷凝器（12），三氯氢硅精馏塔一级冷凝器（11）和三氯氢硅精馏塔二级冷凝器（12）的冷凝液出口均与回流槽（13）连接，回流槽（13）出液口与三氯氢硅精馏塔回流口连接，另一出液口连接三氯氢硅成品罐（23）；三氯氢硅精馏塔二级冷凝器（12）的出气口通过管道与机前缓冲罐（25）相连接；三氯氢硅精馏塔塔底出料口依次连接四氯化硅进料槽（14）、四氯化硅进料泵（15），四氯化硅进料泵（15）与四氯化硅精馏塔（17）进料口连接，四氯化硅精馏塔（17）顶部设有四氯化硅精馏塔一级冷凝器（18）和四氯化硅精馏塔二级冷凝器（19），四氯化硅精馏塔一级冷凝器（18）和四氯化硅精馏塔二级冷凝器（19）的冷凝液出口均与回流罐（20）连接，回流罐（20）出液口与四氯化硅精馏塔回流口连接，另一出液口连接四氯化硅成品罐（24）；四氯化硅精馏塔二级冷凝器（13）的出气口通过管道与机前缓冲罐（25）相连接。