[实用新型]氯硅烷气体取样装置有效
| 申请号： | 201020544879.3 | 申请日： | 2010-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN201788109U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 余国庆;黄磊;易征;陈丹;余江 | 申请（专利权）人： | 峨嵋半导体材料研究所 |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22;G01N1/24;G01N30/20;G01N30/22 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 徐宏;吴彦峰 |
| 地址： | 614200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氯硅烷气体取样装置，包括封闭的取样桶、固定在桶内的进样管和出样管、固定在桶外的针型阀、以及连接在桶顶的压力表，所述桶内的进样管、出样管分别与桶外的针型阀连通，针型阀的出口与气象色谱仪的进样口适配，连接体进口与标气瓶的出口适配；本实用新型采用两组共4只针型阀，这样多一组载气的进、出口，在样品浓度高时可以按一定比例用载气稀释，方便、准确分析样品浓度，平常不需稀释时，可封闭一组针型阀做备用，针型阀分析进样时可保持气流稳定，针型阀与取样桶采用螺纹连接，方便调节流速和清洗，压力表和取样桶采取螺纹连接，方便更换，还可根据不同工艺压力要求，更换不同的压力表。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 气体 取样 装置 | ||
【主权项】：
一种氯硅烷气体取样装置，其特征在于：包括封闭的取样桶（2）、固定在桶内的进样管（3）和出样管（4）、固定在桶外的针型阀（1、6）、以及连接在桶顶的压力表（5），所述桶内的进样管、出样管分别与桶外的针型阀（1、6）连通，所述针型阀的出口（7）与气象色谱仪的进样口适配，所述连接体进口（8）与标气瓶的出口适配。
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