[实用新型]一种具有较高抗腐蚀性的晶片研磨机有效
| 申请号： | 201020262202.0 | 申请日： | 2010-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN201728580U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 张继昌;段有志 | 申请（专利权）人： | 大庆佳昌科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B57/04 |
| 代理公司： | 大庆知文知识产权代理有限公司 23115 | 代理人： | 李建华 |
| 地址： | 163316 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种具有较高抗腐蚀性的晶片研磨机。主要解决现有技术中的研磨机中的研磨粉添加结构容易被腐蚀的问题。其特征在于：晶片研磨机还包括一个“L”形研磨粉导入管、一个研磨粉注入槽架以及一个研磨粉导入管固定架；研磨粉注入槽架固定于研磨盘的上部，由研磨粉注入槽架引出的研磨粉注入管接入研磨盘上的研磨粉输入端；研磨粉导入管固定架固定在所述汽缸提升杆上，“L”形研磨粉导入管固定于研磨粉导入管固定架的侧壁，固定后的“L”形研磨粉导入管的输出管口垂直位于研磨粉注入槽架中的注入槽上方，所述“L”形研磨粉导入管的另一端经软管连接至研磨粉定量泵的输出端。如此改进后，具有较好的抗腐蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 较高抗 腐蚀性 晶片 研磨机 | ||
【主权项】：
一种具有较高抗腐蚀性的晶片研磨机，包括研磨粉定量泵(1)、支架(2)、提升架(5)、汽缸(3)、研磨盘(7)、底端连接有一个定位托盘(6)的汽缸提升杆(4)以及固定有研磨齿圈(12)和太阳轮(11)的研磨机底座，其特征在于：所述晶片研磨机还包括一个“L”形研磨粉导入管(9)、一个研磨粉注入槽架(8)以及一个研磨粉导入管固定架(13)；所述研磨粉注入槽架(8)固定于研磨盘(7)的上部，由所述研磨粉注入槽架(8)引出的研磨粉注入管接入所述研磨盘(7)上的研磨粉输入端；所述研磨粉导入管固定架(13)固定在所述汽缸提升杆(4)上，所述“L”形研磨粉导入管(9)固定于研磨粉导入管固定架(13)的侧壁，固定后的“L”形研磨粉导入管的输出管口垂直位于研磨粉注入槽架(8)中的注入槽上方，所述“L”形研磨粉导入管的另一端经软管(10)连接至所述研磨粉定量泵(1)的输出端。
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