[实用新型]西门子法制备多晶硅还原尾气回收系统无效
| 申请号： | 201020236525.2 | 申请日： | 2010-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN201746333U | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 周大荣 | 申请（专利权）人： | 无锡中彩科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214183 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种“西门子”法制备多晶硅还原尾气回收系统，特征是：在尾气-淋洗气热交换器上设有尾气入口、尾气出口、尾液出口、冷却气入口和冷却气出口；在鼓泡淋洗塔的上端设有淋洗液入口、淋洗尾气入口、冷却尾气出口和淋洗液出口；尾气入口与尾气储罐连接，尾气出口与淋洗尾气入口连接，冷却气入口与冷却尾气出口连接，冷却气出口与氢压机连接，氢压机与压缩气-吸收气热交换器顶部的气体入口连接，尾液出口、淋洗液出口和压缩气-吸收气热交换器底部的液体出口与氯硅烷储罐连接，氯硅烷储罐与氯硅烷屏蔽泵连接，氯硅烷屏蔽泵与氯硅烷过冷器液体入口连接，氯硅烷过冷器液体出口利用管道与淋洗液入口连接。本实用新型实现了低成本、低能耗、高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 西门子 法制 多晶 还原 尾气 回收 系统 | ||
【主权项】：
一种西门子法制备多晶硅还原尾气回收系统，包括尾气 淋洗气热交换器(2)、鼓泡淋洗塔(6)和氯硅烷过冷器(5)，其特征是：在所述尾气 淋洗气热交换器(2)的顶端设有尾气入口(2.1)和尾气出口(2.2)，在尾气 淋洗气热交换器(2)的底部设有尾液出口(2.3)，在尾气 淋洗气热交换器(2)侧面的上端设有冷却气入口(2.4)，在尾气 淋洗气热交换器(2)侧面的下端设有冷却气出口(2.5)；在所述鼓泡淋洗塔(6)的上端设有淋洗液入口(6.1)，在所述鼓泡淋洗塔(6)的下端设有淋洗尾气入口(6.2)，在所述鼓泡淋洗塔(6)的顶部设有冷却尾气出口(6.4)，在所述鼓泡淋洗塔(6)的底部设有淋洗液出口(6.3)；所述尾气入口(2.1)与尾气储罐(1)的输出端利用管道连接，所述尾气出口(2.2)利用管道与淋洗尾气入口(6.2)连接，所述冷却气入口(2.4)利用管道与冷却尾气出口(6.4)连接，所述冷却气出口(2.5)与氢压机(7)的输入端通过管道连接，氢压机(7)的输出端与设在压缩器 吸收气热交换器(8)顶部的气体入口(8.1)连接，所述尾液出口(2.3)、淋洗液出口(6.3)和压缩器 吸收气热交换器(8)底部的液体出口(8.2)均与氯硅烷储罐(3)的输入端连接，冷却后的液体由(8.3)流出，氯硅烷储罐(3)的输出端与氯硅烷屏蔽泵(4)的输入端连接，氯硅烷屏蔽泵(4)的输出端与氯硅烷液体入口(5.1)利用管道连接，氯硅烷液体出口(5.2)利用管道与淋洗液入口(6.1)连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡中彩科技有限公司，未经无锡中彩科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020236525.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于饮用水安全消毒的脉冲等离子体装置
- 下一篇：充气式漏斗
