[实用新型]芯片加速软失效率测试装置有效
申请号: | 201020216131.0 | 申请日: | 2010-06-04 |
公开(公告)号: | CN201773171U | 公开(公告)日: | 2011-03-23 |
发明(设计)人: | 李刚;刘云海;冯军宏 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R31/303 | 分类号: | G01R31/303;G01R1/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 20120*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种芯片加速软失效率测试装置,其包括用于套置于含有芯片的封装结构的罩子、螺杆、放射源和标尺;罩子的下端开口,罩子的上端为设有螺纹孔的顶板;所述螺杆穿套于所述螺纹孔内,所述螺杆的外螺纹与所述螺纹孔的内螺纹相匹配,所述螺杆的上端向外伸出,所述螺杆的下端伸入所述罩子的内腔;所述放射源固设于所述螺杆的下端;所述标尺沿竖直方向固设于所述螺杆的外侧面。本实用新型结构简单,使用方便,不但可以通过转动螺杆实现自由调节放射源的高度,从而实现自由调节放射源和芯片之间的距离;而且,通过配合使用标尺,可以精确控制放射源和芯片之间的距离,将放射源固定在所需的高度,使得放射源和芯片之间保持合适的距离。 | ||
搜索关键词: | 芯片 加速 失效 测试 装置 | ||
【主权项】:
一种芯片加速软失效率测试装置,其特征在于,包括用于套置于含有芯片的封装结构的罩子、螺杆、放射源和标尺;所述罩子的下端开口,所述罩子的上端为设有螺纹孔的顶板;所述螺杆穿套于所述螺纹孔内,所述螺杆的外螺纹与所述螺纹孔的内螺纹相匹配,所述螺杆的上端向外伸出,所述螺杆的下端伸入所述罩子的内腔;所述放射源固设于所述螺杆的下端;所述标尺沿竖直方向固设于所述螺杆的外侧面。
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