[实用新型]24对棒多晶硅还原炉有效
申请号: | 201020215600.7 | 申请日: | 2010-06-04 |
公开(公告)号: | CN201785197U | 公开(公告)日: | 2011-04-06 |
发明(设计)人: | 王姗 | 申请(专利权)人: | 成都蜀菱科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610015 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本24对棒多晶硅还原炉在炉子底盘上采用大对数电极、还原炉内壁设置光滑的银层,均匀设置多个进气喷嘴,使多晶硅还原炉中反应时的供料气体分布更均匀,反应更充分,多晶硅棒数量更多,从而显著提高了反应效率和单炉产量;并利用银的化学特性和良好的加工性,以及抛光后的镜面效果,在生产出纯度更高的多晶硅产品的同时,大幅度降低了能耗,大大降低了多晶硅的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 24 多晶 还原 | ||
【主权项】:
24对棒多晶硅还原炉,包括底盘和炉体,在炉体和底盘上设有冷却水腔和用于冷却水进出的进出口,底盘上配有电极、进气口和排气口,底盘与炉体采用紧固件连接,炉体上设有用于观察和测量温度的视孔,其特征在于还原炉内壁有一层厚度为2 3mm的光滑的银层,底盘上有24对用于生成硅棒的电极。
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