[发明专利]一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备装置

摘要

一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备装置，它涉及一种多晶硅锭的制备装置，以解决现有多晶硅锭的制备是在陶瓷或石墨套筒中，套筒内壁对多晶硅产生污染，导致多晶硅锭纯度低的问题。冷却器设置在真空室的底板上，拉杆设置在冷却器中，拉杆与伺服电机连接，拉杆与石墨底座连接，石墨底座设置在冷坩埚中，冷坩埚上的每个通水孔分别通过细接管与方环状出水管连通，冷坩埚上的每个通水孔分别通过细接管与方环状进水管连通，进水接管的一端与方环状进水管连接，感应线圈缠绕在冷坩埚的外壁上，石墨管的出口与冷坩埚的内腔正对，聚料斗设置在石墨管上，壳体上的出口与聚料斗正对，螺杆设置在壳体上，料斗安在壳体进料口处。本发明用于制备多晶硅锭。

主权项

一种具有定向凝固组织多晶硅锭的制备装置，其特征在于：所述设备包括炉体(1)、真空室(2)、真空泵(3)、冷却器(4)、拉杆(5)、伺服电机(6)、石墨底座(7)、冷坩埚(8)、方环状出水管(9)、出水接管(10)、第一螺母(11)、水箱进水管(12)、方环状进水管(13)、进水接管(14)、第二螺母(15)、水箱出水管(16)、感应线圈(17)、石墨管(18)、支撑板(19)、聚料斗(20)、壳体(21)、螺杆(22)、联轴器(23)、可调式变速箱(24)、步进电机(25)和料斗(26)，真空室(2)设置在炉体(1)中，真空泵(3)设置在真空室(2)的侧壁上，真空泵(3)的入口端与真空室(2)连通，冷却器(4)设置在炉体(1)和真空室(2)的底板上，拉杆(5)设置在冷却器(4)中，拉杆(5)的下端与伺服电机(6)的输出端连接，拉杆(5)的上端与石墨底座(7)连接，石墨底座(7)设置在冷坩埚(8)的内腔中，方环状出水管(9)套在冷坩埚(8)的上端，冷坩埚(8)上的每个通水孔(8‑5)分别通过细接管与方环状出水管(9)连通，出水接管(10)的一端与方环状出水管(9)连接，出水接管(10)的另一端通过第一螺母(11)与水箱进水管(12)连接，方环状进水管(13)设置在方环状出水管(9)的上方，冷坩埚(8)上的每个通水孔(8‑5)分别通过细接管与方环状进水管(13)连通，进水接管(14)的一端与方环状进水管(13)连接，进水接管(14)的另一端通过第二螺母(15)与水箱出水管(16)连接，感应线圈(17)位于方环状出水管(9)的下方且缠绕在冷坩埚(8)的外壁上，石墨管(18)的下端出口与冷坩埚(8)的内腔正对，石墨管(18)的上端固装在支撑板(19)上，支撑板(19)与真空室(2)内壁固接，聚料斗(20)设置在石墨管(18)上，壳体(21)固装在支撑板(19)上，且壳体(21)上的出口与聚料斗(20)正对，螺杆(22)的两端分别通过轴承设置在壳体(21)上，螺杆(22)的输入端通过联轴器(23)和可调式变速箱(24)与步进电机(25)传动连接，料斗(26)安装在壳体(21)的进料口处。