[发明专利]反应腔的输气管道系统及其控制方法有效
| 申请号： | 201010594837.5 | 申请日： | 2010-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102568991A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 聂佳相;孔祥涛;何伟业;陈碧钦 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种反应腔的输气管道系统及其控制方法，所述输气管道系统包括：粗泵，经由蝶形阀与反应腔连接，用于对反应腔抽气；涡轮通气泵，所述涡轮通气泵与反应腔连接，用于对反应腔通气，其气冷单元与所述粗泵连通；阀门控制单元，所述阀门控制单元将气冷单元内的气压与反应腔的气压相比较，当所述气冷单元内的气压大于反应腔的气压时，使得所述蝶形阀关闭。本发明中粗泵在工作时总是对气冷单元抽气，能够降低气冷单元内的气压，使其与反应腔的气压保持平衡，所述阀门控制单元对上述气压进行比较，控制蝶形阀的开启或关闭，可以有效防止冷却气体反充入反应腔中。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 输气管道 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种反应腔的输气管道系统，包括粗泵，经由蝶形阀与反应腔连接，用于对反应腔抽气；其特征在于，还包括：涡轮通气泵，所述涡轮通气泵与反应腔连接，用于对反应腔通气，其气冷单元与所述粗泵连通；阀门控制单元，所述阀门控制单元将气冷单元内的气压与反应腔的气压相比较，当所述气冷单元内的气压大于反应腔的气压时，使得所述蝶形阀关闭。
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