[发明专利]一种金属-类金刚石(Me-DLC)纳米复合膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201010168336.0 | 申请日： | 2010-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101823353A | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 林松盛;代明江;侯惠君;李福球;朱霞高 | 申请（专利权）人： | 广州有色金属研究院 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广东世纪专利事务所 44216 | 代理人： | 千知化 |
| 地址： | 510651 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种金属-类金刚石纳米复合膜，其特征是依次由基材(1)、金属过渡层(2)、金属氮化物过渡层(3)、金属碳化物过渡层(4)和掺金属类金刚石层(5)构成。其制备方法采用Ti、Cr或W靶，依次轰击清洗基材，沉积金属层，金属氮化物层，金属碳化物层和沉积掺金属类金刚石层。本发明提供的金属-类金刚石纳米复合膜具有低的摩擦系数，高的耐磨性，良好的耐腐蚀性和生物相容性以及颜色均匀一致性。本发明的金属-类金刚石(Me-DLC)纳米复合膜适合用于手表壳体、饰物、工艺品等的表面涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 金刚石 me dlc 纳米 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属-类金刚石纳米复合膜，其特征是依次由基材(1)、金属过渡层(2)、金属氮化物过渡层(3)、金属碳化物过渡层(4)和掺金属类金刚石层(5)构成。
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