[发明专利]离子源及其电极以及将待电离的气体导入离子源的方法无效
| 申请号： | 201010163498.5 | 申请日： | 2010-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101868114A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·尤尔 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | H05H7/10 | 分类号： | H05H7/10;A61N5/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 郝俊梅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于产生粒子束的离子源以及用于这种离子源的电极。本发明此外还涉及将待电离的气体导入这种离子源的方法。用于产生粒子束的离子源(2)包含等离子体腔(4)和延伸到所述等离子体腔(4)的电极(8)。待电离的气体经气体管道被导入离子源(2)中，其中所述气体管道(6)平行于所述电极(8)地沿电极(8)的全长延伸，从而使气体在等离子体腔(4)的输入端(34)附近从气体管道(6)流出。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 及其 电极 以及 电离 气体 导入 方法 | ||
【主权项】：
一种用于产生粒子束的离子源(2)，包含等离子体腔(4)以及延伸到等离子体腔(4)的电极(8)，其中用于待电离的气体的气体管道(6)，平行于所述电极(8)地沿所述电极(8)的全长延伸。
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