[发明专利]台阶微针阵列的制备方法无效
| 申请号： | 201010157116.8 | 申请日： | 2010-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101829394A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;闫肖肖;杨春生;芮岳峰;李以贵 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | A61M37/00 | 分类号： | A61M37/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种生物医学工程技术领域的台阶微针阵列的制备方法，首先通过光刻在硅片上开出硅刻蚀窗口并采用湿法刻蚀硅刻蚀窗口中的硅，然后用切片机切割硅片得到微方柱阵列，并进一步切割微方柱阵列得到若干微方块，最后采用湿法刻蚀微方柱阵列得到台阶微针阵列。本发明制备得到高度不同的微针阵列，此微针阵列通过渐进式刺入皮肤。同时本发明制备过程简单，采用湿法刻蚀和机械加工结合的方法制备此微针阵列，成本低且便于普及。 | ||
| 搜索关键词： | 台阶 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种台阶微针阵列的制备方法，其特征在于，首先通过光刻在硅片上开出硅刻蚀窗口并采用湿法刻蚀硅刻蚀窗口中的硅，然后用切片机切割硅片得到微方柱阵列，并进一步切割微方柱阵列得到若干微方块，最后采用湿法刻蚀微方柱阵列得到台阶微针阵列。
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