[发明专利]圆盘状基板的制造方法以及圆盘状基板的收纳用工具

摘要

本发明提供圆盘状基板的制造方法等，当将工件收纳于工件盒时，工件彼此难以接触，能够抑制工件的损伤，并且容易将工件收纳于工件盒。一种圆盘状基板的制造方法，将收纳用工具安装于工件盒的开口部，借助收纳用工具通过手动作业将工件收纳于工件盒，在收纳之后拆卸该收纳用工具，使用工件盒使工件移动从而制造工件，工件盒形成有多个工件的保持引导部，从而在制造工序中能够隔开间隔地收纳配置多片工件，收纳用工具形成有多个工件的插入引导部，该圆盘状基板的制造方法的特征在于，收纳用工具的插入引导部是开口宽度从两端部朝向中央部变大的孔部，工件的边缘部由插入引导部引导并配置于保持引导部。

主权项

一种圆盘状基板的制造方法，其中，将插入辅助部件安装于圆盘状基板盒的开口部，借助该插入辅助部件通过手动作业将圆盘状基板收纳于该圆盘状基板盒，在收纳之后拆卸该插入辅助部件，使用该圆盘状基板盒使圆盘状基板移动从而制造圆盘状基板，所述圆盘状基板盒形成有多个圆盘状基板的保持引导部，从而在制造工序中能够隔开间隔地收纳配置多片圆盘状基板，所述插入辅助部件形成有多个该圆盘状基板的插入引导部，所述圆盘状基板的制造方法的特征在于，所述插入辅助部件的所述插入引导部的开口宽度从两端部朝向中央部变大，由此，所述圆盘状基板的边缘部由该插入引导部引导并配置于所述保持引导部。