[发明专利]大转角压电扫描微镜无效
申请号: | 201010136889.8 | 申请日: | 2010-03-31 |
公开(公告)号: | CN101852917A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
发明(设计)人: | 温志渝;钱蓉蓉;陈李;温中泉;贺学锋 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;H01L41/09;G01B7/30 |
代理公司: | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人: | 赵荣之 |
地址: | 400044 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本发明公开了一种单片集成的大转角压电扫描微镜,包括微反射镜面、压电微驱动器、角度传感器以及支撑框架,所述反射镜面、压电微驱动器以及支撑框架均制作在同一片硅基底上,反射镜面、压电微驱动器位于支撑框架结构的内部;本发明采用压电驱动方式对微镜进行驱动,压电微驱动器包括多条压电折叠梁,可在较低的工作电压下实现微镜的大角度扫描;微镜中部由一对扭转梁进行支承,使微镜绕扭转梁转动,从而限制了微镜面外的平动,增加了系统的稳定性;同时集成了压电式角度传感器,实现扫描角度的精确测量,因此无需外加角度检测装置,从而减小系统体积,本发明成果可广泛应用于微型光谱仪、光学成像等领域。 | ||
搜索关键词: | 转角 压电 扫描 | ||
【主权项】:
大转角压电扫描微镜,其特征在于:所述微镜包括微反射镜面(1)、压电微驱动器(2)以及支撑框架(4),所述反射镜面(1)、压电微驱动器(2)以及支撑框架(4)均制作在同一片硅结构层(5)上并以硅结构层(5)作为其共同的底层,所述反射镜面(1)、压电微驱动器(2)位于支撑框架(4)结构的内部;所述微反射镜面(1)包括所述硅结构层(5)和采用MOEMS工艺制作在硅结构层(5)上的反射膜层(10);所述压电微驱动器(2)沿微反射镜面(1)的纵向中轴线对称设置在微反射镜面(1)的左、右两侧,同侧的压电微驱动器(2)之间沿微反射镜面(1)的横向中轴线上、下对称;每一压电微驱动器(2)为一只折叠梁,其上制作多段压电驱动结构(12),所述压电驱动结构(12)包括采用MOEMS工艺从下到上依次层叠制作在硅结构层(5)上的下电极层(7)、压电层(8)和上电极层(9);其中,每一压电微驱动器(2)靠近微反射镜面(1)一侧与微反射镜面(1)的硅结构层(5)相连接,而靠近支撑框架(4)一侧与支撑框架(4)的硅结构层相连接,实现对微反射镜面(1)的驱动和支撑;所述压电微驱动器(2)的电信号通过上、下电极层进行输入。
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