[发明专利]汽车歧管绝压传感器无效
| 申请号： | 201010120621.5 | 申请日： | 2010-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN101799343A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 郭宏;王莉莎;申爱群;师斌;庞晓华 | 申请（专利权）人： | 昆山诺金传感技术有限公司;威海诺金传感技术有限公司;北京鑫诺金传感技术有限公司;北京鑫诺金电子科技发展有限公司;北京德思源电子科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215325 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开的是一种汽车歧管绝压传感器，包括扩散硅芯片，其特征在于，在扩散硅芯片的表面上运用硅-硅键合和硅-玻璃融封技术形成一个杯型背压腔保护层，把流体介质与扩散硅芯片表面电路隔离，所述杯型背压腔保护层上设有基座引脚，所述基座引脚通过焊接的方式与扩散硅芯片的芯片引角连接；扩散硅芯片与杯型背压腔保护层形成敏感元件。本发明具有能够抗振动、抗冷热冲击、抗过载、抗电磁干扰的能力以及体积小、结构灵活、精度高、稳定性和一致性好优点；而且可换性强，抗腐蚀和抗磨损能力卓越，从而使扩散硅压力传感器在生产工艺上和性能指标上了一个新台阶，产业化水平有了较大的提高，应用设计灵活性有了大大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 汽车 歧管 传感器 | ||
【主权项】：
汽车歧管绝压传感器，包括扩散硅芯片，其特征在于，在所述扩散硅芯片的表面上运用硅-硅键合和硅-玻璃融封技术形成一个杯型背压腔保护层，把流体介质与扩散硅芯片表面电路隔离，所述杯型背压腔保护层上设有基座引脚，所述基座引脚通过焊接的方式与扩散硅芯片的芯片引角连接；所述扩散硅芯片与杯型背压腔保护层形成一敏感元件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山诺金传感技术有限公司;威海诺金传感技术有限公司;北京鑫诺金传感技术有限公司;北京鑫诺金电子科技发展有限公司;北京德思源电子科技发展有限公司，未经昆山诺金传感技术有限公司;威海诺金传感技术有限公司;北京鑫诺金传感技术有限公司;北京鑫诺金电子科技发展有限公司;北京德思源电子科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010120621.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种有机物可生化性的评价方法
- 下一篇：韧性无钢骨架复合树脂井盖
