[发明专利]α-重氮-1,3-二酮类化合物及由其制备的感光高分子聚合物有效
| 申请号： | 201010103810.1 | 申请日： | 2010-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN101830827A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 邹应全;刘陆;牛辉楠;吴君丽 | 申请（专利权）人： | 容大油墨(惠州)有限公司;北京师范大学 |
| 主分类号： | C07C245/18 | 分类号： | C07C245/18;C08F220/36;C08F220/60;C08F220/06;C08F220/14;C08F220/20;C08F220/18;C08F220/28;C08F220/56;C08F220/58;G03F7/021 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 钟守期;唐铁军 |
| 地址： | 516347 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种新的α-重氮-1，3-二酮类化合物及由其制备的感光高分子聚合物，所述化合物的制备方法以及所述聚合物用于制备光致抗蚀剂组合物的用途。由本发明的α-重氮-1，3-二酮类化合物制备的感光高分子聚合物能够在250-400nm的波长下感光，由该聚合物制备的抗蚀剂组合物具有分辨率高等优点，可作为单组分光致抗蚀剂使用，即无需再添加成膜树脂；并且由于是非化学增幅性抗蚀剂，避免了化学增幅型抗蚀剂由于后烘延迟所导致的线宽变宽和不溶表皮层等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 酮类 化合物 制备 感光 高分子 聚合物 | ||
【主权项】：
1.一种式(I)的α-重氮-1，3-二酮类化合物，![]()
其中R1代表氢或C1-C6-烷基；R2代表![]()
其中R3和R4各自独立地代表氢、卤素、C1-C6-烷基、C1-C6-烷氧基，或者代表被C1-C6-烷基或C1-C6-羟烷基取代或未被取代的氨基；X和Y各自独立地代表O、S或-NR5，其中R5代表氢或C1-C6-烷基；n代表1-6之间的任一整数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于容大油墨(惠州)有限公司;北京师范大学，未经容大油墨(惠州)有限公司;北京师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010103810.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
