[发明专利]具有在相互正交方向上的去耦感测的变换器有效
| 申请号： | 200980143516.9 | 申请日： | 2009-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN102203001A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 林毅桢;安德鲁·C·麦克耐尔 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李佳;穆德骏 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微机电系统(MEMS)变换器(90)，其适于感测在相互正交的方向(92、94、96)上的加速度。MEMS变换器(90)包括通过锚系统(116)而悬挂在衬底(98)上方的检验质量块(100)。锚系统(116)在旋转轴(132)处将检验质量块(100)枢转地耦合至衬底(98)，以使检验质量块(100)能够响应于在方向(96)上的加速度而绕旋转轴(132)旋转。检验质量块(100)具有延伸通过其的开口(112)。另一检验质量块(148)居于开口(112)中，并且另一锚系统(152)将检验质量块(148)悬挂在衬底(98)的表面(104)上方。锚系统(152)使检验质量块(148)能够响应于在至少另一方向(92、94)上的加速度而基本上平行于衬底(98)的表面(104)移动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 相互 正交 向上 去耦感测 变换器 | ||
【主权项】：
一种变换器，所述变换器适于感测在至少两个相互正交方向上的加速度，所述变换器包括：衬底；第一检验质量块，所述第一检验质量块以间隔开的关系位于所述衬底的表面上方并且适于相对于旋转轴运动，所述第一检验质量块具有延伸通过所述第一检验质量块的开口；第一锚系统，所述第一锚系统形成在所述衬底的所述表面上，所述第一锚系统在所述旋转轴处将所述第一检验质量块枢转地耦合至所述衬底，以使所述第一检验质量块能够响应于在所述相互正交方向的第一方向上的所述加速度而绕所述旋转轴旋转；第二检验质量块，所述第二检验质量块居于所述开口中并且以间隔开的关系位于所述表面上方；以及第二锚系统，所述第二锚系统形成在所述衬底的所述表面上并与所述第二检验质量块耦合，以使所述第二检验质量块能够响应于所述相互正交方向的第二方向上的所述加速度而基本上平行于所述衬底的所述表面移动。
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