[发明专利]四氟化锗的制造方法无效
申请号: | 200980138501.3 | 申请日: | 2009-10-27 |
公开(公告)号: | CN102164857A | 公开(公告)日: | 2011-08-24 |
发明(设计)人: | 梅崎智典;毛利勇;中原启太 | 申请(专利权)人: | 中央硝子株式会社 |
主分类号: | C01G17/04 | 分类号: | C01G17/04 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供四氟化锗的制造方法,其包括以下工序:向填充有金属锗和稀释气体的反应器中供给氟气的工序;使从反应器放出的气体通过冷却捕集器从而捕集作为反应产物的四氟化锗的工序;使通过冷却捕集器的气体再次返回到反应器而使其循环的工序。通过这样使气体在封闭体系中循环,能够安全且高效地制造四氟化锗。 | ||
搜索关键词: | 氟化 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种四氟化锗的制造方法,其包括以下工序:向填充有金属锗和稀释气体的反应器中供给氟气的工序;使从反应器放出的气体通过冷却捕集器从而捕集作为反应产物的四氟化锗的工序;使通过冷却捕集器的气体再次返回到反应器而使其循环的工序。
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