[实用新型]运动部件位置的真空信号引出装置

摘要

本实用新型涉及将真空环境内的信号引出到大气环境的设备，具体地说是一种运动部件位置的真空信号引出装置，波纹管及法兰依次套设在直杆上，波纹管的一端与直杆相连，另一端与法兰的一端连接，法兰的另一端与真空室密封连接；所述直杆位于法兰以下的部分插入真空室内、且底端设有与运动部件滚动摩擦的触点，直杆靠近顶端的位置上设有通光狭缝，所述光电开关安装在法兰上、位于直杆设有通光狭缝的两侧；在直杆位于真空室内部分的外部套设有与法兰相连的竖直套管，该竖直套管与直杆之间设有限制直杆径向平动自由度的导向铜套。本实用新型通过刚性传递将机械触点信号从真空环境中引出，并转换成精确的光电信号输出，运动定位精确，信号响应及时。

主权项

一种运动部件位置的真空信号引出装置，其特征在于：包括直杆(2)、波纹管(3)、法兰(4)、光电开关(5)及竖直套管(16)，其中波纹管(3)及法兰(4)依次套设在直杆(2)上，波纹管(3)的一端与直杆(2)相连，另一端与法兰(4)的一端连接，法兰(4)的另一端与真空室密封连接；所述直杆(2)位于法兰(4)以下的部分插入真空室内、且底端设有与运动部件滚动摩擦的触点，直杆(2)靠近顶端的位置上设有通光狭缝(22)，所述光电开关(5)安装在法兰(4)上、位于直杆(2)设有通光狭缝(22)的两侧；在直杆(2)位于真空室内部分的外部套设有与法兰(4)相连的竖直套管(16)，该竖直套管(16)与直杆(2)之间设有限制直杆径向平动自由度的导向铜套。