[实用新型]光阻液的循环回收装置

摘要

本实用新型公开一种光阻液的循环回收装置，其与一可将使用后的光阻液排出的作业机台相互连结，该循环回收装置包含至少一预备桶、复数混合桶、复数搅拌装置、复数恒温装置、一抽真空装置、复数筛检装置、一溶剂装置、一清洗装置和一新液装置；预备桶连接作业机台且承接作业机台排出的光阻液加以集收；恒温装置控制预备桶、混合桶内的光阻液的温度维持在一定设定温度；筛检装置检测容置空间内的光阻液温度、浓度数值；溶剂装置用于稀释光阻液的浓度；新液装置将新光阻液从新液供应桶输送至作业机台。此种回收装置既可在回收处理过程中有效提升回收效率，还可使回收处理后的光阻液品质更加稳定。

主权项

1、一种光阻液的循环回收装置，其特征在于：与一可将使用后的光阻液排出的作业机台相互连结，该循环回收装置包含至少一预备桶、复数混合桶、复数搅拌装置、复数恒温装置、一抽真空装置、复数筛检装置、一溶剂装置、一清洗装置和一新液装置；预备桶连接作业机台且承接作业机台排出的光阻液加以集收，且该预备桶具有一底壁，一与该底壁呈相对设置的顶壁，及一连结该底壁与顶壁间以圈围形成有一容置空间的围绕壁；复数混合桶连结预备桶，每一混合桶具有一底壁，一与该底壁呈相对设置的顶壁，及一连结底壁与顶壁间以圈围形成有一承接预备桶输出的光阻液的容置空间的围绕壁；前述预备桶、混合桶上各分别设有一搅拌装置，每一搅拌装置具有一设置于预备桶、混合桶上的动力源，以及一受该动力源驱动且伸置该预备桶、混合桶内的搅拌件；前述预备桶、混合桶的外桶体上各分别设有一恒温装置，控制该预备桶、混合桶内的光阻液的温度维持在一定设定温度；抽真空装置具有一设置于伸入预备桶、混合桶的容置空间内的管路，以及一连接该管路且将预备桶、所述混合桶内空气加以抽出的抽气动力源；每一混合桶均设有一检测容置空间内的光阻液温度、浓度数值的筛检装置，同时该筛检装置设置于围绕壁上且伸置于容置空间内；溶剂装置具有一存放溶剂的溶剂供应桶，以及分别连结所述混合桶、溶剂供应桶的溶剂管线；清洗装置具有一装有清洗液的清洗液供应桶，一分别连结预备桶、所述混合桶的清洗液管线，以及一将供应桶内的清洗液输入预备桶与所述混合桶内的清洗动力源；新液装置具有一供应新光阻液的新液供应桶，以及一分别连结作业机台、新液供应桶与混合桶的新液管线。