[实用新型]一种平底石英坩埚无效
申请号: | 200920153986.0 | 申请日: | 2009-05-20 |
公开(公告)号: | CN201421252Y | 公开(公告)日: | 2010-03-10 |
发明(设计)人: | 黄乃军;黄洁 | 申请(专利权)人: | 余姚市晶英电弧坩埚有限公司 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10;C30B15/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315450浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种平底石英坩埚,属于坩埚炉技术领域,包括锅壁和锅底,锅壁和锅底为一整体,锅壁为圆柱形,锅底为平面形。锅壁底部和锅底相交处为圆弧形,圆弧弧度较小。本实用新型优点在于单晶硅拉制收尾前,长晶硅料在圆形坩埚底部剩余较少,节省了加工硅料,降低了生产成本;在高温加工过程中,石英坩埚内液面径向的温度、梯度改变较小或者不改变,对长晶非常有利,提高了产品质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 平底 石英 坩埚 | ||
【主权项】:
1.一种平底石英坩埚,包括锅壁和锅底,锅壁和锅底为一整体,锅壁为圆柱形,其特征在于:锅底为平面形。
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