[实用新型]防止镜片碰撞的装置

摘要

本实用新型提供了一种防止镜片碰撞的装置，通过安装在可移动镜片上的探测模块探测镜片间的距离，并根据探测结果，在镜片将要发生碰撞前控制驱动模块，从而阻止镜片进一步移动，达到防止发生碰撞的效果。另外，还可通过控制模块设置照明模式，判断移动镜片的移动方向，合理安排镜片的移动顺序。整个装置结构简单可靠，不需要严格的机械安装条件的限制，并且不会出现误判的情况，即使在断电装调过程中也不会出现误操作导致可动镜片损毁。同时能够在不影响光学性能的前提下，提高光刻设备的可靠性并且同时降低维护和修理成本。

主权项

一种防止镜片碰撞的装置，应用于光刻设备的照明系统中，所述照明系统中至少包括两片相邻设置的可移动镜片，且所述的两片可移动镜片的行程之间具有交叠区域，其特征在于：包括驱动所述可移动镜片移动的驱动模块，以及安装在所述可移动镜片上的探测模块，所述探测模块探测两片可移动镜片间的距离，并根据探测结果控制驱动模块。