[实用新型]晶体硅太阳能电池扩散炉

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产设备，尤其是一种晶体硅太阳能电池扩散炉。它具有扩散炉管，在扩散炉管和扩散源之间设置有气体缓冲装置，气体缓冲装置的相对两侧分别设有进气孔和出气孔，出气孔通过连接管与扩散炉管的进气口连通。通过气体缓冲装置对扩散源进行充分混合，以提高通入到扩散炉管内扩散源的饱和蒸汽压，从而提高扩散炉管的扩散的掺杂均匀性，且该设备结构简单，安装方便，安全性好。

主权项

1.一种晶体硅太阳能电池扩散炉，具有扩散炉管(1)，其特征是：扩散源和扩散炉管(1)之间设置有气体缓冲装置(2)，气体缓冲装置(2)的相对两侧分别设有进气孔(3)和出气孔(4)，出气孔(4)通过连接管(5)与扩散炉管(1)的进气口连通。