[实用新型]单晶炉温度控制单元无效
申请号: | 200920032967.2 | 申请日: | 2009-05-06 |
公开(公告)号: | CN201390799Y | 公开(公告)日: | 2010-01-27 |
发明(设计)人: | 丁积军;李阳 | 申请(专利权)人: | 西安恒新自动控制有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B15/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710065陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 单晶炉温度控制单元,包括一温校控制器1,温校控制器1与控温装置模块2相连,控温装置模块2与信号隔离转换模块3相连,信号隔离转换模块3与加热电源柜4相连,加热电源柜4与温度传感器5相连,温度传感器5与控温模块2相连,温校控制器1在晶体生长过程中,控制晶升速度,温度传感器5产生的温度信号送入控温装置模块2经信号隔离转换模块3转换放大送入加热电源柜4加热电压,不论外部的干扰使炉温升高还是降低,控温模块2总在不断地检测,不断地调整,通过加热电源柜4实现这个电网干扰的电压电流反馈系统,本实用新型具有结构简单、精度高的特点。 | ||
搜索关键词: | 炉温 控制 单元 | ||
【主权项】:
1、单晶炉温度控制单元,其特征在于,包括一温校控制器(1),温校控制器(1)的温度信号输出端与控温装置模块(2)的信号输入端相连,控温装置模块(2)的信号输出端与信号隔离转换模块(3)的信号输入端相连,信号隔离转换模块(3)的信号输出端与加热电源柜(4)的信号输入端相连,加热电源柜(4)与温度传感器(5)的温度控制端相连,温度传感器(5)的温度控制输出端与控温模块(2)的信号输入端相连。
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