[实用新型]水冷板式隔热冷却装置无效
| 申请号： | 200920014429.0 | 申请日： | 2009-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN201347402Y | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 赵青山;侯建 | 申请（专利权）人： | 锦州佑鑫电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 锦州辽西专利事务所 | 代理人： | 李 辉 |
| 地址： | 121000辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种水冷板式隔热冷却装置，它有一个钢托架，其特殊之处是：在钢托架上放置有不锈钢隔热板，在不锈钢隔热板内设水套夹层，在不锈钢隔热板一侧设有与水套夹层相通的进水管和出水管。优点是：通过不锈钢隔热板代替石英板，用循环水进行冷却，对坩埚成型模具上方起隔断热源、对坩埚成型模具下方起保温作用，不锈钢板不会炸裂，能够大大减少电弧坩埚表面的气泡、杂质点，从而提高了产品质量和合格率，并且使用寿命长，降低了生产成本，可节省大量石英板。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷 板式 隔热 冷却 装置 | ||
【主权项】：
1、一种水冷板式隔热冷却装置，包括一个钢托架，其特征是：在钢托架上放置有不锈钢隔热板，在不锈钢隔热板内设水套夹层，在不锈钢隔热板一侧设有与水套夹层相通的进水管和出水管。
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