[发明专利]硅棒拉制用子晶无效
申请号: | 200910255738.1 | 申请日: | 2009-12-23 |
公开(公告)号: | CN101736397A | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | 蒋新民 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/36 | 分类号: | C30B15/36 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213213 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种硅棒拉制用子晶,子晶设有连接多棱台和提拉杆,连接多棱台的上台面大于下台面,提拉杆设置在下台面的下端面,在夹头设有多棱台孔,子晶的连接多棱台套装在夹头的多棱台孔中。子晶与夹头间通过多棱台的轴、孔配合连接结构实现了扭力传递和轴向拉力承受,无需在子晶壁上磨制缺口,更不需要用固定销来连接,子晶上的提拉杆的截面积不会减小,从结构上消除子晶在拉制过程的断裂因素,既能解决子晶的断裂问题,又能实现子晶与子晶夹头的同步旋转。 | ||
搜索关键词: | 拉制 用子晶 | ||
【主权项】:
一种硅棒拉制用子晶,其特征是:包括截面形状为多边形的连接多棱台(11)和提拉杆(12),连接多棱台(11)的上台面(13)大于下台面(14),提拉杆(12)设置在下台面(14)的下端面。
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