[发明专利]基板输送臂无效
| 申请号： | 200910204420.0 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101712155A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 冈本英树;美浓部猛;泷浦博文 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | B25J18/00 | 分类号： | B25J18/00;B25J15/06;H01L21/677;B65G49/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及基板输送臂，在将弯曲的印刷基板载置在工件台时，防止吸附用的真空在基板、工件台、基板之间泄漏，工件台能够吸附保持基板。输送臂(10)通过吸附衬垫(1)利用真空吸附将基板保持并输送，载置于工件台上并利用真空吸附进行保持。在输送臂(10)的设置有吸附衬垫(1)的一侧，设有比吸附衬垫(1)短的板簧(4)等弹性构件。板簧(4)被设置成比吸附衬垫(1)的前端缩回。保持基板的输送臂(10)在工件台之上下降时，板簧(4)将基板弯曲部分朝工件台的方向推压。因此，基板被矫正成平面，来自基板周边部的吸附用真空不会泄漏，基板被吸附保持在工件台。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 | ||
【主权项】：
一种基板输送臂，通过吸附衬垫在下侧保持基板并进行输送，并将基板载置于真空吸附并保持该基板的工件台上，其特征在于，在基板输送臂的设置有吸附衬垫的一侧，比吸附衬垫的前端缩回地设置比吸附衬垫短的弹性构件。
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