[发明专利]压紧环清洗保护及测量治具有效
申请号: | 200910200093.1 | 申请日: | 2009-12-08 |
公开(公告)号: | CN101780659A | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 廖宗洁;卢国云 | 申请(专利权)人: | 上海申和热磁电子有限公司 |
主分类号: | B24C1/00 | 分类号: | B24C1/00;H01L21/683;G01B5/02 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 200444 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种压紧环清洗底部保护治具,包括夹面支撑部,夹面支撑部具有支撑压紧环的夹面底部的顶部表面,较佳地,夹面支撑部为夹面支撑环,还包括底座,夹面支撑部设置在底座上;本发明还涉及一种压紧环清洗上部保护治具,包括遮盖压紧环的夹面上部的遮盖面,本发明还涉及一种压紧环夹面高度检测治具,包括底板和设置在底板上的夹面支承部,夹面支承部具有支承压紧环的夹面底部的上部表面,底板的上表面平行于上部表面,本发明设计巧妙,能大大减少夹面高度在再生过程中的损耗,显著提高压紧环清洗次数,延长客户部件更换周期,解决夹面高度测量效率低、测量治具比较昂贵的问题,大大降低用户使用维护成本,适于大规模推广应用。 | ||
搜索关键词: | 压紧 清洗 保护 测量 | ||
【主权项】:
一种压紧环清洗底部保护治具,其特征在于,所述压紧环清洗底部保护治具包括夹面支撑部,所述夹面支撑部具有支撑所述压紧环的夹面底部的顶部表面。
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