[发明专利]一种多元Ti-Al-N系纳米复合多层涂层及其制备方法无效
| 申请号： | 200910193491.5 | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101698933A | 公开（公告）日： | 2010-04-28 |
| 发明（设计）人： | 彭继华 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02;B32B9/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 李卫东 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种多元Ti-Al-N系纳米复合多层涂层及其制备方法。该纳米复合多层涂层是在工具或模具基体上以TiN作为结合层，结合层上的膜层结构为[TiN/(Ti，Al，X)N]n，其中X指Cr，Si，Zr，Y中的一种或多种组合。该方法在工件表面涂制每一层厚度小于100nm的TiN层；启动2个阴极多弧合金靶，靶电流为80-100A，调整工件偏压80-120V，持续施镀获得成分为(Ti，Al，X)N的涂层；通过多重形成[TiN/(Ti，Al，X)N]n交替结构；发明改善了Ti-Al-N系列涂层的高温稳定性和耐磨性，以及抗冲击韧性、涂层同基体的结合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多元 ti al 纳米 复合 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多元Ti-Al-N系纳米复合多层涂层，其特征在于：该纳米复合多层涂层是在工具或模具基体上以TiN作为结合层，结合层上的膜层结构为[TiN/(Ti，Al，X)N]n，其中X指Cr，Si，Zr，Y中的一种或多种组合；n＝5-15，为重复膜层数量。
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