[发明专利]用于薄膜太阳能电池制造的低成本溅射机及溅射方法

摘要

本发明实施例提供了一种用于薄膜太阳能电池制造的低成本溅射机及溅射方法，所述溅射机包括一腔体，具有一溅射空间；一载具，设于腔体的溅射空间内；一基板，被承载于载具上，载具用以输送基板；至少一传动装置，设于载具的侧边，并且位于腔体的溅射空间内；以及一靶材，连接传动装置；靶材与传动装置产生相对移动，致使靶材可在基板表面上水平移动。本发明用于薄膜太阳能电池制造的低成本溅射机的优点在于：利用上述的低成本溅射机及溅射方法，可有效率地于基板表面上形成镀膜，而此种溅射机并不需要体积庞大及冗长行程的载具以输送基板供靶材溅射，这有助于溅射机的体积小型化以及降低生产成本。

主权项

一种用于薄膜太阳能电池制造的低成本溅射机，其特征在于，所述用于薄膜太阳能电池制造的低成本溅射机包括：一腔体，具有一溅射空间；一载具，设于所述腔体的溅射空间内；一基板，被承载于所述载具上，所述载具用以输送所述基板；至少一传动装置，设于所述载具的侧边，并且位于所述腔体的溅射空间内；以及一靶材，连接所述传动装置；所述靶材与所述传动装置产生相对移动，致使所述靶材可在所述基板表面上水平移动。