[发明专利]液体喷出头及其制造方法以及结构体的形成方法

摘要

本发明涉及液体喷出头及其制造方法以及结构体的形成方法。一种液体喷出头的制造方法，该液体喷出头包括基板和设置在基板上方的构件，该构件具有连通地连接到喷射液体用的排出口的通道；所述制造方法包括：在基板上方设置由正性感光性树脂制成的第一固体层，使得第一固体层的外侧面与基板形成钝角；在基板上方设置第二固体层，使得第二固体层与第一固体层的外侧面抵接，第二固体层被处理成所述通道用的型模的至少一部分；经由第二固体层对第一固体层的部分外侧面进行曝光；从第一固体层去除曝光过的部分；在第二固体层上设置覆盖层，该覆盖层被处理成所述构件。

主权项

1.一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括基板和被设置在所述基板上方的构件，所述构件具有连通地连接到喷射液体用的排出口的通道；所述制造方法包括：在所述基板上方设置由正性感光性树脂制成的第一固体层，使得所述第一固体层的外侧面与所述基板形成钝角；在所述基板上方设置第二固体层，使得所述第二固体层与所述第一固体层的所述外侧面抵接，所述第二固体层被处理成所述通道用的型模的至少一部分；从所述第二固体层形成所述通道用的型模的至少一部分；经由所述第二固体层对所述第一固体层的部分所述外侧面进行曝光；从所述第一固体层去除曝光过的部分；在所述通道用的型模的所述至少一部分上设置覆盖层，所述覆盖层被处理成所述构件；至少去除所述型模的所述至少一部分以形成所述通道。