[发明专利]液体喷出头及其制造方法以及结构体的形成方法

权利要求书

1.一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括基板 和被设置在所述基板上方的构件，所述构件具有连通地连接到 喷射液体用的排出口的通道；所述制造方法包括：

在所述基板上方设置由正性感光性树脂制成的第一固体 层，使得所述第一固体层的外侧面与所述基板形成钝角；

在所述基板上方设置第二固体层，使得所述第二固体层与 所述第一固体层的所述外侧面抵接，所述第二固体层被处理成 所述通道用的型模的至少一部分；

从所述第二固体层形成所述通道用的型模的至少一部分；

经由所述第二固体层对所述第一固体层的部分所述外侧面 进行曝光；

从所述第一固体层去除曝光过的部分；

在所述通道用的型模的所述至少一部分上设置覆盖层，所 述覆盖层被处理成所述构件；

至少去除所述型模的所述至少一部分以形成所述通道。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二固 体层被设置在所述第一固体层上。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在对所述第 一固体层进行曝光之前，将所述第二固体层图案化成具有与所 述通道对应的形状的图案。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过对被设 置在所述基板上方的所述正性感光性树脂进行曝光来成形所述 第一固体层的所述外侧面。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在将所述第 二固体层形成在所述第一固体层上之后，对所述第二固体层进 行研磨。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，对所述第二 固体层进行研磨使得所述第一固体层露出。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二固 体层能够透过用于对所述第一固体层进行曝光的光，并且所述 第二固体层对于用于对所述第一固体层进行曝光的光具有80％ 以上的透过率。

8.一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括基板 和被设置在所述基板上方的构件，所述构件具有连通地连接到 喷射液体用的排出口的通道；所述制造方法包括：

在所述基板上方设置由正性感光性树脂制成的第一固体 层，使得所述第一固体层的外侧面与所述基板形成钝角；

在所述基板上方设置第二固体层，使得所述第二固体层与 所述第一固体层的所述外侧面抵接，所述第二固体层被处理成 所述通道用的型模；

从所述第二固体层形成所述通道用的型模；

经由所述第二固体层对所述第一固体层全部进行曝光；

从所述第一固体层去除曝光过的部分；

在所述通道用的型模上设置覆盖层，所述覆盖层被处理成 所述构件；

去除所述型模以形成所述通道。

9.一种液体喷出头的制造方法，所述液体喷出头包括基板 和被设置在所述基板上方的构件，所述构件具有连通地连接到 喷射液体用的排出口的通道；所述制造方法包括：

在所述基板上方设置第一固体层，使得所述第一固体层的 外侧面与所述基板形成钝角；

在所述基板上方设置用于形成所述通道用的型模的第二固 体层，使得所述第二固体层与所述第一固体层的所述外侧面抵 接；

从所述第二固体层形成所述通道用的型模；

去除所述第一固体层；

在所述型模上设置覆盖层；

通过去除所述型模而形成所述通道。

10.一种结构体的形成方法，其包括：

在基板上方设置第一固体层，使得所述第一固体层的外侧 面与所述基板形成钝角；

在所述基板上方设置由正性感光性树脂制成的第二固体 层，使得所述第二固体层与所述第一固体层的所述外侧面抵接， 所述第二固体层被处理成所述结构体；以及

去除所述第一固体层。